簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Jyh-Chiang Jiang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="半導體微影製成"


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    利用微電極陣列感測探針探討痛覺刺激與穀氨酸於脊髓丘腦徑之神經傳導的關聯
    • 化學工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 張鴻彥 指導教授: 曾婷芝
    • 本研究利用半導體加工製程技術製備微電極陣列感測探針,製程的部分共分成為三個階段,第一階段為金屬圖案之定義,使金屬導線,封裝端與電極端的圖案成形。第二階段為探針導線區域絕緣,對整片晶圓沉積介電層後,運…
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